微電子研究所KW-5型臺式勻膠機/旋涂儀100-200mm
參數(shù):
手動旋鈕控制
> 基片尺寸φ100-φ200mm圓片(4英寸~8英寸)
> 顯示轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±1%,膠的均勻性±5%
> 轉(zhuǎn)速:500-5000轉(zhuǎn)/分
> 勻膠階段:2段
> 勻膠時間:Ⅰ速0~18S,;Ⅱ速0~60S
> 電機功率:180W
> 整機尺寸(長寬高):425mmx500mmx300mm
> 適應(yīng)用材料:硅片、玻璃、石英、金屬GaAs、GaN、InP等多種材料
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